Phương pháp xác định sóng ảo trong máy dò lỗ hổng siêu âm

1. Đặt đầu dò tại một vị trí có sóng ảo nghi ngờ trên phôi và giảm tần số lặp lại của dụng cụ phát hiện lỗ hổng siêu âm. Khi nó được giảm xuống một giá trị nhất định, sóng đột nhiên biến mất và sóng có thể được đánh giá là một sóng ảo. Một số mô hình của các công cụ không có nút để điều chỉnh tần số lặp lại. Nói chung, tần số lặp lại của các công cụ đó được kiểm soát cùng với phạm vi độ sâu, có thể làm tăng phạm vi phát hiện. Khi nó đạt đến một giá trị nhất định, sóng ảo sẽ đột nhiên biến mất.
2. Sau khi làm ẩm ngón tay của bạn bằng dầu, nhấn vị trí sóng đáy tương ứng của đầu dò. Nếu bạn thấy rằng sóng dưới cùng nhảy bằng ngón tay ấn và sóng khiếm khuyết cũng nhảy rất nhiều, nó có thể được xác định là sóng ảo. Những gì ngón tay hấp thụ là sóng siêu âm đạt đến vị trí sóng dưới cùng. Năng lượng không nên ảnh hưởng đến biên độ của khiếm khuyết. Nếu bạn áp dụng bơ vào vị trí tương ứng hoặc ngâm nó trong chất lỏng, bạn cũng có thể thấy rằng sóng ảo sẽ giảm đáng kể hoặc thậm chí biến mất.
3. Di chuyển đầu dò theo chu vi và thấy rằng sóng khuyết tật luôn ở cùng độ sâu và rõ ràng và ổn định chỉ với jitter nhẹ. Các khiếm khuyết khu vực lớn - thường xuyên như vậy hiếm khi xuất hiện trong các phôi thực tế và sự tồn tại của sóng Phantom cũng có thể được đánh giá dựa trên điều này.
4. Khi thời gian làm việc trở nên dài hơn, thiết bị nóng lên hoặc môi trường thay đổi đều đặn, sóng ảo đôi khi biến mất đột ngột. Bởi vì tần số lặp lại của các dụng cụ phát hiện lỗ hổng siêu âm sẽ điều chỉnh với sự thay đổi nhiệt độ của các thành phần bóng bán dẫn.